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高通量(場發射)掃描電子顯微鏡

Navigator-100-SEMI

 

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產品介紹
Navigator-100-SEMI高通量(場發射)掃描電子顯微鏡

聚束科技獨立研發并擁有自主知識產權的Navigator-100高通量(場發射)掃描電子顯微鏡,通過對成像技術、運動平臺、電路控制及智能算法的系統化創新設計,實現了全球最高通量成像,成像速度可達到傳統電鏡的數十倍以上。其全部采用直接電子探測器的技術方案,成功克服了傳統SEM技術在速度、精度和樣品損傷等方面的局限性,顛覆性地將掃描電鏡從傳統意義上的納米“照相機”提升為納米“攝像機”。同時操作簡單,全自動一鍵換樣,7*24小時無人值守運行,全面提升科研效率。 我們將成熟的工業化高通量電鏡檢測技術應用在生命科學、材料研究、半導體工業、地質資源等領域。尤其在神經生物學3D重構、材料大面積表面分析、半導體反向工程、納米技術分析等應用領域有顯著優勢。

特性優勢
    極速成像
    高質量成像
    跨尺度大規模成像
    智能分析
    操作簡單

極速成像

通過獨創的硬件和軟件設計,實現全球最快二次電子與背散射電子雙通道同步成像:視頻級高分辨成像2×100M像素/秒),6秒鐘即可拍攝一張6億像素超高清圖像(區域:50μm×50μm分辨率:24K×24K )。相較傳統意義掃描電鏡,其掃描速度高出一個數量級以上。

高清視頻級攝像幀率(2×200幀/秒@512×512,或2×60幀/秒@1024×1024),使其具有實時觀測樣品動態變化的能力。

基本指標
Navigator-100-SEMI高通量(場發射)掃描電子顯微鏡
參數類型參數值
分辨率

1.5nm@1kV

1.2nm@3kV

1.0nm@5kV

加速電壓0.1 kV - 12 kV
放大倍數500X - 600,000X(SEM)
1X - 500X(光學)
束斑電流50pA-300nA
圖像大小512X512像素-24kX24k像素
圖像采集速度

雙通道同時采集2×100M 像素/秒

駐留時間(Dwell Time)10納秒/像素

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